真空机组的气体通道短，气体在级间的传送方位不变，有利于气体快速排出泵外和固体颗粒状物体的排出，遍及应用于真空镀膜、冶金等行业，油涣散泵之所以被广泛运用，是由于它结构简略，价格低廉，对被抽气体无选择性，极限真空度高。

真空机组

    没有机械传动及摩擦，维修便当，缺点是容易发生油蒸汽返流，造成真空室油污染；启动时间长；功率大，比较耗电，涣散泵的返油使它在对真空洁净程度要求较高的真空体系的运用中受限，为了处理这个问题，通常在真空室与真空机组的主泵进口之间的管道中设备冷阱、挡板。


    能够有效地抽除来自真空室的冷凝蒸气和来自蒸气流泵的返流油蒸气，爪式泵拆开困难：由于多级结构，悉数拆开要多级分解，而转子拆开是真实的难点，一同每拆开一次，精度就会有不同程度的下降。