低中真空获得设备的抽气范围约为10的5次方10的-1次方Pa，其主要特点是抽气速率较低，排气量大，工作压力高。低真空获得设备主要应用在真空干燥、真空浸渍、真空输送和真空过滤等装置中。经常使用的真空泵有罗茨泵、水环泵、油封机械泵、往复式真空泵、大气喷射泵、水蒸气喷射泵、分子筛吸附泵等。这些泵中大部分可以单独使用，但是有些泵不能直接排气到大气中，需要配有前级泵，比如罗茨泵和油蒸汽喷射泵。


罗茨真空泵由罗茨鼓风机演变而来，一般在低压下使用，广泛应用在石油、刀具、化工、冶金、医疗、食品等行业。早在1954年，国外就发明了罗茨真空泵。我国的罗茨泵也有三十几年的历史了。但相对于国外的罗茨泵，我国生产的罗茨泵普遍存在噪音大、可靠性差和故障率高等问题，其综合性能不好。因为罗茨泵不能直排大气，在真空领域应用时一般与前级真空泵串联成真空机组来使用。比如罗茨泵-旋片式真空泵机组、罗茨泵-水环式真空泵机组、罗茨泵一滑阀式真空泵机组等。


旋片式真空泵是一种容积式真空泵，它是通过滑动的旋片和定子在转子槽内转动而改变容腔体积来实现抽真空的。真空技术中，旋片式真空泵是基本的真空获取设备之一。旋片泵常作为其他真空泵的前级泵来使用，但旋片泵也可单独用于对真空度要求不高的低真空环境。由于旋片泵价格低廉，构造简单，空间占有面积小，因此被广泛使用在石油、机械、冶金中。